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詳細(xì)介紹
XP POWER ESC系列 靜電卡盤(pán)電源解決方案
1kV - 15kV靜電高壓源 對(duì)流冷卻
高達(dá)15kV(±7500V)的浮動(dòng)輸出
•輸出電壓范圍:1kV-15kV
•單輸出和雙極模型
•輸入輸出隔離:>500MΩ
•自動(dòng)極性反轉(zhuǎn)
•自動(dòng)放電
•短路和開(kāi)路保護(hù)
•內(nèi)置RF濾波可用
•模擬/ RS232 / DeviceNet(可選)
